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SKD2000 全自己晶圓電極臺 支持:6inch、8inch,LSI(大投資經營規模融合電路設計原理)和VLSI(巨大投資經營規模融合電路設計原理)等晶圓測評。
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設備描述英文

適用范圍:

使使用在6inch、8inch,LSI(大大小智能家居控制型電路系統系統)和VLSI(超級大大小智能家居控制型電路系統系統)等晶圓測試。

 

基本參數尺寸規格:

順序號 頂目 資源 提示
1 晶圓尺寸圖規格型號 晶圓直勁 6/8寸  
2 晶圓薄厚 150~1000μm  
3 規格問題 ≤+50μm  
4 Die長寬 0.25~100mm  
5 Index Time 循壞時間間隔 230ms(Die≤5mm)  
6 X/Y軸 表面粗糙度 ≤+2μm  
7 最大的速度慢 250mm/s  
8 發現路程 ≥±120mm  
9 簽別率 0.1μm  
10 Z軸 高精準度 ≤+2μm  
11 最高速度快 50mm/s  
12 旅行線路 ≥47mm  
13 鑒別率 0.1μm  
14 θ 可調高位置 ±5°  
15 糞便率 0.00007°  
16 廠務規定要求 直流電壓 AC 220V 50/60Hz  
17 CDA 0.6~0.8MPa 管子規格ф8  
18 真暖空氣源 -80~-100KPa 管道直徑ф6  
19 主機 尺寸圖(L*W*H) 1370*1475*1300mm  
20 自重 1500Kg  
21 大電壓各種測試 感應電流位置 0~800A 選購
22 超高壓公測 額定電壓的范圍 0~3000V 加裝音響
23 低高溫測試圖片 工作溫度規模 -60~200℃ 選購
24 控溫控制精度 ±0.1℃
25 溫度固判定 0.1℃
26 攝氏度平均性

≤100℃時≤+0.5℃

>100℃時<±0.5%

     
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