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全自己晶圓探頭臺SKD3000 全定時晶圓探頭臺SKD3000是四款用在8/12inch LSI（大產值融合電源線路）和VLSI（超小產值融合電源線路）晶圓自測的探頭臺。
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慨述：

全全自動型晶圓檢測器臺SKD3000是一臺代替8/12inch LSI（大大型智能家居控制控制電路原理）和VLSI（超級大大型智能家居控制控制電路原理）晶圓測試儀的電極臺。

 

優缺特殊性：

1、高高畫質探頭臺檢驗客體的X/Y軸的絕對定位功能高畫質會達±2μm；

2、高平穩Z/θ軸能實現目標Chuck長時光穩定可靠測試圖片；

3、保證重新的裝料基本功用，都有測試探頭與Pad重新的對位基本功用。分為單獨的的光學薄膜模式使測試探頭卡上擁有的針尖可能重新的精準度地扎在響應的Pad上；

4、機械規格和啟動狀況統計數據信息等統計數據應該隨意發送信息或接收到到固態硬盤和外接估算機系統的，便捷實時更新看看和溯源定量分析。

 

因素尺寸規格：

項目編號 項目 玩法 備注
1 機臺圖片尺寸及載重量 寸尺（L*W*H） 1590*1620*1460mm  
2 單重 約2.2T  
3 晶圓尺寸規格規格 晶圓內直徑 8"/12"  
4 晶圓板材的厚度 150~2200μm  
5 強度較差 ≤±50μm  
6 Die尺碼 0.2~100mm  
7 試驗方面 測試英文依次 X/Y路徑陸續遙測  
8

θ

 可調高區間 ±5°  
9 甄別率 0.00007°  
10 X/Y軸 計算精度 ≤±2μm  
11 最大化流速 250mm/s  
12 探測系統里程 ≥±160mm  
13 簽別率 0.1μm  
14 Z軸 精確度 ≤±2μm  
15 極限速率 50mm/s  
16 行程英文 ≥80mm  
17 分辯率 0.1μm  
18 OD條件 0~500μm  
19 Index Time 不斷循環精力 230ms（6mm以里的Die Z調節0.5mm）  
20 預貼準 靶向度 多角度≤±0.5°，重點部位≤0.2mm  
21 手觸屏 金橋銅業跨接線的截面積大小 15Inch五線內阻式  
22 大電流量檢查 瞬時電流條件 0~800A 標配
23 進行高壓各種測試 電壓降依據 0~3000V 選擇
24 多少溫試驗 溫度空間 -60~200℃ 選擇裝配
25 控溫精準度 ±0.1℃
26 工作溫度安全性 0.1℃
27 水溫平滑性 ≤100°C時≤+0.5°C
＞100°C時＜+0.5%
 
有關于產品設備